FIBD

　　高真空射頻聚焦離子束濺射鍍膜系統(tǒng)

　　Focused Ion Beam Deposition

　　FIBD是國內(nèi)外進(jìn)行材料基因組研究的必不可少的關(guān)鍵設(shè)備，本產(chǎn)品填補(bǔ)了國內(nèi)外的空白， 完成了國家863項(xiàng)目驗(yàn)收。